系统介绍：

微球在能源、光学、医学、航天、物理、军工等领域有着广泛的应用。如核聚变靶丸作为激光核聚变的核心部件之一，其直径和表面质量对聚变实验有至关重要的影响，如何检测出质量合格的靶丸微球也成为了研究的重点。传统的依靠人工检测的方式，检测效率低，检测精度难以保证。而利用视觉完成对微球质量的检测，稳定性好，具有较高的检测效率和检测精度。自动化靶球检测系统基于显微视觉可以准确、快速检测出微球的直径、壁厚等几何参数与缺陷特征。

自动化靶球检测设备

系统功能：

该系统基于显微视觉，通过粗检测与精检测两个过程，实现对微球几何参数与缺陷的高精度检测，具体的功能有：

1.尺寸测量，可以检测微球的内径、外径、壁厚等参数。

2.缺陷识别，识别微球中黑点、凹凸、裂纹、气泡、杂质等缺陷。

3.自动控制功能，包括Z轴精密位移台的控制，与变焦镜头的控制。

4.自动标识，根据检测的数据，对检测出的缺陷特征进行自动分类，并保存数据。

尺寸测量效果图

缺陷检测效果图1

缺陷检测效果图2

技术指标：

（1）微球的壁厚、外径和内径的检测精度达到1um。

（2）测量误差：<1%。

（3）检测速率：100个/min。

（4）微球识别率：100%。