系统介绍：

该系统通过高分辨率相机对光学镜面的颗粒污染物进行成像，实时提取并统计颗粒粒径和数量，分析镜面洁净度等级，为镜面状态判断及镜面洁净处理提供依据。

光学颗粒污染物检测设备

污染物成像及检测结果示意图

系统功能：

(1)可实现对光学镜面颗粒污染物的清晰成像。

(2)可监测并分辨镜面颗粒污染物粒径大小。

(3)可实时对镜面颗粒污染物粒径及数量进行统计。

(4)能根据镜面颗粒污染物粒径及数量，实时对镜面洁净度等级做出判断。

(5)具备采集、实时显示、存储、调用、数据分析等功能。

(6)具备本地、远程的控制功能。

技术指标：

(1)可监测镜面尺寸≥Φ360mm。

(2)可监测最小颗粒粒径：50μm。

(3)粒径监测精度优于：±20μm@100μm。

(4)镜面颗粒数目统计误差优于：±10%@100μm。